RESOLUÇÃO Nº 90, DE 13 DE DEZEMBRO DE 2017
Ex 066 - Purificadores de gás, operado em circuito de alta pressão (200bar) e baixa vazão, fornece pureza ultra alta (UHP) aos gases argônio (100slpm), hélio (150slpm) e xénon (30slpm), redução dos níveis de saída de impureza de O 2, H 2 O CO, CO 2, H 2, N 2 e CH 4 em partes baixas por bilhão (ppb) ou abaixo, opera sob sistema de ...